新聞中心NEWS CENTER
微機(jī)械加工精度
應(yīng)變電阻定位精度±0.1μm（傳統(tǒng)應(yīng)變計(jì)±50μm）
硅膜片厚度控制達(dá)±0.5μm（機(jī)械加工±5μm）
對(duì)比：金屬應(yīng)變計(jì)存在膠層蠕變問題
集成化制造
| 參數(shù) | 擴(kuò)散硅 | 陶瓷壓阻 | 金屬應(yīng)變計(jì) |
|---|---|---|---|
| 靈敏度 | 15-30mV/V | 2-5mV/V | 1-3mV/V |
| 精度 | 0.05%FS | 0.1%FS | 0.25%FS |
| 溫度遲滯 | 0.01%FS | 0.05%FS | 0.1%FS |
| 最小量程 | 1kPa | 10kPa | 50kPa |
頻響特性
固有頻率10-50kHz（金屬式1-5kHz）
響應(yīng)時(shí)間0.1ms（陶瓷式1ms）
微壓測(cè)量
分辨率0.01Pa（醫(yī)療呼吸機(jī)應(yīng)用）
非線性＜0.01%FS@100Pa量程
溫度性能
寬溫補(bǔ)償（-40~125℃）
熱零點(diǎn)漂移0.005%FS/℃
內(nèi)置PT1000溫度傳感器
長(zhǎng)期穩(wěn)定性
年漂移＜0.1%FS（MEMS工藝）
10?次壓力循環(huán)后靈敏度變化＜0.05%
批量成本
晶圓級(jí)制造（Φ200mm晶圓產(chǎn)5000顆）
單價(jià)較金屬傳感器低40%（量產(chǎn)后）
集成優(yōu)勢(shì)
可單片集成ASIC（減少60%PCB面積）
免標(biāo)定輸出（出廠激光修調(diào)）
微差壓測(cè)量
量程100Pa時(shí)精度保持0.1%
靜壓影響＜0.005%FS/1MPa
腐蝕介質(zhì)
全隔離結(jié)構(gòu)（316L+氟橡膠）
耐氫氟酸特殊版（Ta?O?膜層）
SOI技術(shù)
耐溫300℃（智能油井應(yīng)用）
抗輻照＞100kGy（核級(jí)傳感器）
智能功能
內(nèi)置AI補(bǔ)償芯片（非線性自校正）
無線NB-IoT傳輸（10年電池壽命）
該技術(shù)符合ISO 8763 Class 0.05標(biāo)準(zhǔn)，在半導(dǎo)體設(shè)備中替代電容式傳感器后，將響應(yīng)速度提升20倍。最新光子晶體光纖版本可實(shí)現(xiàn)0.001%FS的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，成為高精度過程控制的標(biāo)桿。
地址：上海市寶山區(qū)顧村鎮(zhèn)滬太路5018號(hào)梓坤科技園1號(hào)樓910室
24小時(shí)全國(guó)熱線：400-7282-986
售前咨詢熱線：021-51602986
售后咨詢熱線：021-51601181
首頁
產(chǎn)品中心
壓力傳感器壓力表稱重傳感器扭矩傳感器溫度傳感器流量測(cè)量智能控制儀行業(yè)解決方案
航天/航海/軍工工程/紡織機(jī)械軌道交通暖通空調(diào)汽車/鋼鐵工業(yè)能源業(yè)/石油化工醫(yī)療設(shè)備其他行業(yè)應(yīng)用關(guān)于隆旅
公司簡(jiǎn)介加入隆旅渠道合作新聞中心
新聞資訊傳感器常規(guī)問答行業(yè)資訊服務(wù)與支持
付款方式技術(shù)支持產(chǎn)品支持聯(lián)系我們
聯(lián)系我們
企業(yè)公眾號(hào)
企業(yè)抖音號(hào)
企業(yè)視頻號(hào)
企業(yè)微博
企業(yè)小紅書
